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性能出色
的螺桿設(shè)計，鐘形懸臂結(jié)構(gòu)，榮獲利的自平衡螺桿，出色的運行品質(zhì)，集成羅茨泵，非常適用于 load lock 腔和傳送腔、計量、平版印刷術(shù)、物理氣相沉積以及快速熱退火等應(yīng)用
高效
擁有成本低，維護少，保養(yǎng)間隔長，正常運行時間長，直接水冷卻
結(jié)構(gòu)緊湊
密閉式設(shè)計，直聯(lián)的罐裝電機
| TECHNICAL DATA | COBRA BC 0600 F |
|---|---|
| 額定抽速 | 520 m3/h |
| 極限壓力 | 0.003 hPa (mbar) |
| 前級泵電機額定功率 | 1.5 kW |
| 羅茨真空泵電機額定功率 | 4.0 kW |
| 功耗（怠速模式） | 1.1 kW |
| 極限壓力時的功耗 | 2.1 kW |
| 前級泵電機額定轉(zhuǎn)速 | 3000 min?1 |
| 羅茨真空泵電機額定轉(zhuǎn)速 | 3000 min?1 |
| 噪聲級（ISO 2151） | 62 dB(A) |
| 耗水量 | 3.0 l/min |
| 氮氣消耗量 | 0 – 50 l/min |
| 重量（約） | 315 kg |
| 尺寸（L x W x H） | 933 x 354 x 694 mm |
| 進氣口 | DN 63 ISO–K |
| 排氣口 | DN 40 ISO–KF |
Busch電機7AA90S 04B14
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Busch真空泵油過濾器0531000002
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